刻蚀机龙头有:
中微公司:刻蚀机龙头。等离子刻蚀机国产龙头,主要从事半导体设备的研发。
北方华创:刻蚀机龙头。公司提供的半导体设备及部件类产品包括刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、扩散炉、清洗机及MFC等7大类,面向集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏、平板显示等8个产品领域,涵盖了半导体生产前处理工艺制程中的大部分关键工艺装备。
芯源微:产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)。
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