2024年第一季度,光刻机概念上市公司研发费用排名如下:上海电气(601727)研发费用总额高达10.14亿,北方华创(002371)和大族激光(002008)分别位居第二和第三,紫光国微(002049)、华润微(688396)、海立股份(600619)、中微公司(688012)、盛美上海(688082)、纳芯微(688052)、三安光电(600703)分别进入前十,其研发费用总额分别排名第4-10名。
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