光刻机概念股有:
上海电气601727:21年1月,上海电气(集团)总公司将推进旗下三家企业混改,继续承担好光刻机等技术攻关任务;上海电气(集团)总公司是上海微电子装备第一大股东,持有32.09%的股权,2014年就以股权融资的形式入股。
大族激光002008:公司在研光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,不涉及芯片制造领域,预计2020年内实现小批量销售。
中环股份002129:
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