集成电路设备概念股有:
(1)至纯科技603690:上海至纯洁净系统科技股份有限公司,成立于2000年,是一家在上交所上市的高新技术企业,证券代码603690.SH。致力于为高端先进制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案。
(2)北方华创002371:北方华创科技集团股份有限公司是由北京七星华创电子股份有限公司和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司战略重组而成。北方华创秉承七星电子和北方微电子多年高科技研发实力,实现资源整合和优势互补,以科技创新为基点,着眼未来,致力于加快推进北方华创向新型制造业的战略转型;致力于成为国际领先的高端电子工艺装备和精密电子元器件两大基础电子产品服务商;致力于提升人类智能生活品质;致力于实现中国“智造强国”的梦想蓝图。
(3)长川科技300604:杭州长川科技股份有限公司成立于2008年4月,是一家专注于集成电路装备的研发、生产和销售的上市公司。公司坚持自主研发,是国家级高新技术企业和浙江省软件企业。
(4)中微公司688012:中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微”)是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司,为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备,可加工微米级和纳米级的各种器件。
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