2026年第一季度,半导体检测设备股票研发支出排行榜中,长川科技(300604)研发支出总额高达2.69亿,中科飞测(688361)和精测电子(300567)排名第二和第三,博众精工(688097)、华峰测控(688200)、华兴源创(688001)、广立微(301095)、赛腾股份(603283)、天准科技(688003)、精智达(688627)进入前十,研发支出总额分别排名第4-10名。
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