2023年第二季度,光刻机概念股票研发投入排行榜中,上海电气(601727)研发投入总额高达23.27亿,北方华创(002371)和大族激光(002008)位居第二和第三,紫光国微(002049)、华润微(688396)、海立股份(600619)、纳芯微(688052)、三安光电(600703)、中微公司(688012)、新宙邦(300037)进入前十,研发投入总额分别排名第4-10名。
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