干法刻蚀机概念上市公司名单梳理（2026/3/6）

南方财富网 2026/03/06 14:03:50

干法刻蚀机概念上市公司有哪些？

干法刻蚀机行业概念股票有：芯源微、神工股份、中微公司。

北方华创（688037）：在总资产周转率方面，从公司2021年到2024年，分别为0.52次、0.51次、0.44次、0.35次。

产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)。

神工股份（688233）：在总资产周转率方面，从公司2021年到2024年，分别为0.35次、0.33次、0.07次、0.15次。

刻蚀设备用单晶硅电极材料龙头厂商。

芯源微（002371）：在总资产周转率方面，从2021年到2024年，分别为0.4次、0.4次、0.46次、0.5次。

23年7月，公司首发12英寸等离子体刻蚀机（AccuraBE），实现国产晶边干法刻蚀设备“零”的突破。干法刻蚀相对于湿法刻蚀能极大的提高芯片良率。公司的干法刻蚀机性能已经达到国际主流水平。

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