2023年薄膜沉积设备概念受益的股票有哪些（10月21日）

1、微导纳米（688147）：微导纳米公司2022年的净利润5415.05万元，同比增长17.43%。

回顾近5个交易日，微导纳米有4天下跌。期间整体下跌2.89%，最高价为44.55元，最低价为42.01元，总成交量885.88万手。

公司已开发出适用于光伏、半导体等应用领域的多款薄膜沉积设备，涵盖ALD、PEALD二合一、PECVD系列产品，并提供配套产品及服务。公司夸父（KF）系列设备在光伏领域PERC电池中的Al2O3工艺和SiNX工艺、TOPCon电池正面Al2O3工艺均已实现产业化应用。公司祝融（ZR）系列产品集成了PEALD与PECVD技术，在PERC电池、TOPCon电池中均已实现产业化应用。在PERC电池中，客户可以在同一设备中采用两种不同技术完成对PERC电池背面Al2O3和SiNX的沉积；在TOPCon电池中，客户在同一设备中可连续完成对TOPCon电池超薄SiOX隧穿层和掺杂多晶硅薄膜的制备。公司在行业中已率先取得无锡尚德、通威太阳能、晶科能源、商洛比亚迪等公司TOPCon产线设备订单。

2、拓荆科技（688072）：拓荆科技2022年净利润3.69亿，同比增长438.09%。

回顾近5个交易日，拓荆科技有4天下跌。期间整体下跌0.91%，最高价为264.43元，最低价为242.8元，总成交量942.39万手。

2022年3月29日招股书显示拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备。

3、中科飞测（688361）：中科飞测2022年净利润1174.35万，同比增长-78.02%。

近5个交易日，中科飞测-U期间整体下跌4.31%，最高价为82.17元，最低价为77.8元，总市值下跌了10.59亿。

4、万业企业（600641）：万业企业2022年净利润4.24亿，同比增长12.5%。

近5日万业企业股价下跌2.97%，总市值下跌了4.09亿，当前市值为137.92亿元。2023年股价下跌-12.35%。

子公司嘉芯半导体多次中标多款设备。包含快速热处理（RTP）、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）以及钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）等。

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