2023年PECVD概念相关的上市公司一览（3月26日）

以下是南方财富网为您整理的2023年PECVD概念股：

微导纳米688147：

公司已开发出适用于光伏、半导体等应用领域的多款薄膜沉积设备，涵盖ALD、PEALD二合一、PECVD系列产品，并提供配套产品及服务。公司夸父（KF）系列设备在光伏领域PERC电池中的Al2O3工艺和SiNX工艺、TOPCon电池正面Al2O3工艺均已实现产业化应用。公司祝融（ZR）系列产品集成了PEALD与PECVD技术，在PERC电池、TOPCon电池中均已实现产业化应用。在PERC电池中，客户可以在同一设备中采用两种不同技术完成对PERC电池背面Al2O3和SiNX的沉积；在TOPCon电池中，客户在同一设备中可连续完成对TOPCon电池超薄SiOX隧穿层和掺杂多晶硅薄膜的制备。公司在行业中已率先取得无锡尚德、通威太阳能、晶科能源、商洛比亚迪等公司TOPCon产线设备订单。

微导纳米（688147）3日内股价2天上涨，上涨3.68%，最新报33.95元，2023年来上涨19.15%。

立霸股份603519：从近三年毛利率来看，公司近三年毛利率均值为15%，过去三年毛利率最低为2021年的12.49%，最高为2019年的18.57%。

公司作为有限合伙人的嘉兴君励投资于国内半导体设备企业沈阳拓荆。沈阳拓荆主要从事半导体薄膜设备的研发、生产和销售，主要产品包括8英寸和12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积）设备、ALD（原子层薄膜沉积）设备、3DNANDPECVD（三维结构闪存专用PECVD）设备等，产品广泛应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等领域的生产制造。

回顾近3个交易日，立霸股份期间整体上涨1.27%，最高价为12元，总市值上涨了4261.25万元。2023年股价上涨10.41%。

中来股份300393：从近三年毛利率来看，公司近三年毛利率均值为18.84%，过去三年毛利率最低为2021年的11.52%，最高为2019年的26.9%。

公司的POPAID技术采用的是PECVD隧穿氧化+PVD多晶硅的解决方案，公司目前未获知有其他公司使用相同解决方案。

近3日中来股份上涨0.59%，现报15.18元，2023年股价上涨0.59%，总市值165.41亿元。

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