光刻气概念:华特气体、南大光电。
华特气体:拳头产品光刻气(Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne)通过了ASML和GIGAPHOTON的认证,是国内唯一通过两家认证的气体公司。
南大光电:量产产品包括MO源、半导体前驱体、电子特气等,可在薄膜沉积、光刻、蚀刻、掺杂、清洗等多个集成电路制造流程中实现应用。
华特气体介绍:
广东华特气体股份有限公司是一家致力于特种气体国产化,打破极大规模集成电路、新型显示面板等高端领域气体材料制约的民族气体厂商,主营业务以特种气体的研发生产及销售为核心,辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务,提供气体一站式综合应用解决方案。
随着公司产品的纯度、精度和稳定度持续提高以及市场开拓的深入,产品获得了市场知名客户的广泛认可,实现了对国内8寸以上集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖率,解决了中芯国际、华虹宏力、长江存储、武汉新芯、华润微电子、台积电(中国)、和舰科技、士兰微电子、柔宇科技、京东方等客户多种气体材料的进口制约,并进入了英特尔(Intel)、美光科技(Micron)、德州仪器(TI)、海力士(Hynix)等全球领先的半导体企业供应链体系。