据了解,华特气体,凯美特气可供应光刻气体:
其中华特气体供应光刻用的氪氖混合气、氟氖混合气等气体;
凯美特气供应相关稀有气体,氖、氪、氙及混合气体等。
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本周三据ASML公司表示,受地缘局势干扰,ASML公司正在为工厂使用的少量氖气寻找其他来源。
据了解,乌克兰是世界上最大的氖气生产国,ASML公司有不到20%的氖气原料来自该国。根据资料显示,氖气是惰性气体中的一种,在半导体工艺中惰性气体是一种重要材料。