A股光刻机上市龙头企业一览（2022/5/28）

光刻机上市龙头企业有：

5月27日消息，开盘报61.04元，截至15点，该股涨0.48%报60.32元。当前市值72.38亿。

国内光刻气龙头；中国特种气体国产化的先行者；目前国内8寸以上集成电路制造商超过80%的客户覆盖率；Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne等4种混合气于17年通过全球最大的光刻机供应商ASML的产品认证，截至目前是国内唯一通过ASML认证的气体公司，亦是全球仅有的上述4个产品全部通过其认证的四家气体公司之一；高纯锗烷自19年底取得海力士的认证后，20年起已有订单供给海力士，且该产品已进入韩国三星的认证中。

芯源微：光刻机龙头，5月27日消息，芯源微主力资金净流入730.03万元，超大单资金净流出304.85万元，散户资金净流出582.65万元。

5月27日芯源微3日内股价下跌1.77%，截至15点收盘，该股报126.09元跌0.41%，成交1.35亿元，换手率2.35%。

作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。

光刻机概念股其他的还有：

大族激光：5月27日消息，大族激光5日内股价下跌3.31%，该股最新报28.72元跌0.69%，成交5.1亿元，换手率1.79%。大族激光(002008.SZ)5月27日在投资者互动平台表示，公司光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，已实现小批量销售。

智光电气：截止收盘，智光电气报7.06元，跌1.53%，总市值55.62亿元。公司通过广州誉芯众诚股权投资合伙企业（有限合伙）（持股比例30%）间接参股广州粤芯半导体技术有限公司80%股权，是粤芯的控股股东，粤芯项目是誉芯众诚的主要投资项目。粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。公司于2019年5月在互动平台透露，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，光刻机等主要设备已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。

永太科技：5月27日消息，永太科技开盘报价26.98元，收盘于26.1元，跌2.14%。当日最高价27.46元，最低达25.95元，总市值228.78亿。截至20年10月，公司光刻胶项目目前生产线已建成待商业化生产，公司正在积极与下游客户商谈合作，该项目产能为1500吨/年CF光刻胶。。

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