刻蚀机是一种用于半导体制造和微纳加工的设备,它通过化学反应或物理作用来去除材料表面的一部分,从而实现微细图案的制作和加工。在半导体工艺中,刻蚀机扮演着重要角色,用于制造集成电路中的导线、晶体管和其他微纳结构,是仅次于光刻机的关键设备。目前,我国的刻蚀机行业仍处于较初级的发展阶段,但具备巨大的发展潜力。
2023年刻蚀机产业链梳理
刻蚀机产业链有预真空室、刻蚀腔体、供气系统、真空系统、湿法刻蚀机、干法刻蚀机等环节。预真空室公司主要包括富创精密、北京锐洁、新莱应材、上海广川、新松机器人;刻蚀腔体公司主要包括英杰电气、国力股份、恒运昌、华卓精科、卓胜微等;供气系统公司主要包括康斯特、万业企业、富创精密、圣剑环境;真空系统公司主要包括沈科仪、中科科仪、华大九天真空、新莱应材;湿法刻蚀机公司主要包括中方华创、中微公司、屹唐半导体等。
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