光刻机产业链
光刻机产业链包含照明系统+投影物镜系统、光源系统、工件台系统、洁净系统等环节。照明系统+投影物镜系统公司主要包括茂莱光学、炬光科技、福光股份、腾景科技等;光源系统公司主要包括东方中科、福晶科技;工件台系统公司主要包括华卓精科;洁净系统公司主要包括美埃科技。
2023年光刻机相关上市企业分布情况
当前,A股市场共有111家光刻机相关上市公司,分布在江苏、广东、上海、北京、浙江等地区,江苏有27家,广东有19家,上海有16家,北京有8家,浙江有5家。
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