2023年PECVD概念主要利好上市公司梳理和汇总（12月29日）

相关PECVD概念上市公司有：

金辰股份603396：12月28日消息，金辰股份主力净流入4456.98万元，超大单净流入6575.7万元，散户净流出2903.43万元。

公司为国内光伏电池及组件智能成套装备优势企业和工厂自动化解决方案提供商，主营业务为光伏电池及组件自动化生产线成套装备的研发、设计、生产和销售及相关服务，产品包括光伏组件自动化生产线成套装备、光伏电池片工艺及自动化装备、自动化生产单元设备、人工智能视觉检测设备、生产信息化软件产品、制造执行系统软件（MES）、仓库管理软件（WMS）和设备自动化监控系统、集装箱码头物流（RTG）自动化控制系统、系统集成解决方案。公司于2021年7月21日晚披露非公开发行股票发行情况报告书，完成以37.18元/股向UBSAG、财通基金、中信建投等10名投资者发行1022万股，募资3.8亿元用于年产40台（套）光伏异质结（HJT）高效电池片用PECVD设备项目和补充流动资金。

三安光电600703：12月28日该股主力资金净流入4592.85万元，超大单资金净流入1621.86万元，大单资金净流入2970.99万元，中单资金净流出1924.66万元，散户资金净流出2668.18万元。

公司可以提供第三代半导体相关设备，其中碳化硅方面，可以提供长晶炉、外延炉、刻蚀、高温退火、氧化、PVD、清洗机等设备，氮化镓方面可以提供刻蚀、PECVD、清洗机等设备。目前公司生产经营保持正常。

立霸股份603519：12月28日消息，立霸股份资金净流出65.83万元，超大单资金净流入29.78万元，换手率0.32%，成交金额1097.38万元。

公司作为有限合伙人的嘉兴君励投资于国内半导体设备企业沈阳拓荆。沈阳拓荆主要从事半导体薄膜设备的研发、生产和销售，主要产品包括8英寸和12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积）设备、ALD（原子层薄膜沉积）设备、3DNANDPECVD（三维结构闪存专用PECVD）设备等，产品广泛应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等领域的生产制造。

京山轻机000821：12月28日消息，京山轻机资金净流入2.65亿元，超大单资金净流入2.47亿元，换手率8.1%，成交金额7.43亿元。

公司的HJT电池设备方面，清洗制绒设备和福建金石合作，预计会很快推出产品，其他PECVD和PVD设备处于研发阶段。