【盘点】四氟化硅概念的上市公司，名单全梳理！（2023/12/8）

四氟化硅板块上市公司有：

1、中船特气（688146）：

12月8日消息，中船特气7日内股价上涨2.68%，最新报35.450元，成交额1.31亿元。

公司已经具备电子特种气体及含氟新材料等50余种产品的生产能力，作为国内三氟化氮、六氟化钨生产能力最大的企业，三氟化氮产能9250吨，六氟化钨产能2230吨，两项产品产能规模均位居国内第一。高纯三氟化氮主要应用于大规模集成电路和显示面板等制造过程中的清洗、刻蚀工艺，已实现5N级三氟化氮的量产；高纯六氟化钨主要应用于大规模集成电路化学气相沉积工艺，已实现6N级六氟化钨的量产。公司生产的无机类气体主要包括氟化氢、氯化氢、四氟化硅、氘气等气体，其中，氯化氢和氟化氢纯度分别可达5N5和5N，主要应用于大规模集成电路清洗、刻蚀工艺；四氟化硅纯度可达5N，主要应用于大规模集成电路制造中有机硅化合物的合成、离子注入工艺掺杂剂及化学气相沉积工艺；氘气纯度可达5N，氘同位素丰度2N8以上，主要用作集成电路热处理，以及在光纤制造领域抗老化退火处理，提高抗氢老化能力。公司混合气产品组分纯度可达6N，目前已实现30余种电子混合气的量产供应。公司生产的碳氟类气体主要有六氟丁二烯、八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等气体。

2、多氟多（002407）：

截至发稿，多氟多（002407）跌1.45%，报14.980元，成交额1.38亿元，换手率0.96%，振幅跌1.45%。