2023年PECVD概念股一览（3月15日）

南方财富网为您整理的2023年PECVD概念股，供大家参考。

1、微导纳米688147：3月15日消息，微导纳米7日内股价上涨5.22%，最新报34.130元，成交额1.61亿元。

公司已开发出适用于光伏、半导体等应用领域的多款薄膜沉积设备，涵盖ALD、PEALD二合一、PECVD系列产品，并提供配套产品及服务。公司夸父（KF）系列设备在光伏领域PERC电池中的Al2O3工艺和SiNX工艺、TOPCon电池正面Al2O3工艺均已实现产业化应用。公司祝融（ZR）系列产品集成了PEALD与PECVD技术，在PERC电池、TOPCon电池中均已实现产业化应用。在PERC电池中，客户可以在同一设备中采用两种不同技术完成对PERC电池背面Al2O3和SiNX的沉积；在TOPCon电池中，客户在同一设备中可连续完成对TOPCon电池超薄SiOX隧穿层和掺杂多晶硅薄膜的制备。公司在行业中已率先取得无锡尚德、通威太阳能、晶科能源、商洛比亚迪等公司TOPCon产线设备订单。

2、立霸股份603519：3月15日消息，立霸股份开盘报11.74元，截至15时收盘，该股涨1.97%，报11.900元。当前市值31.69亿。

公司作为有限合伙人的嘉兴君励投资于国内半导体设备企业沈阳拓荆。沈阳拓荆主要从事半导体薄膜设备的研发、生产和销售，主要产品包括8英寸和12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积）设备、ALD（原子层薄膜沉积）设备、3DNANDPECVD（三维结构闪存专用PECVD）设备等，产品广泛应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等领域的生产制造。

从近三年ROE来看，近三年ROE复合增长为-13.45%，过去三年ROE最低为2020年的12.91%，最高为2019年的18.57%。

3、北京科锐002350：3月15日消息，北京科锐今年来涨幅上涨15.35%，最新报8.080元，涨1.89%，成交额1.28亿元。

控股子公司的项目攻克了无移动源甚高频匹配技术，优化了气流场、温度场以及电场的设计，开发了用于生产异质结（HIT）太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）核心装备。

从近三年ROE来看，近三年ROE复合增长为11.15%，过去三年ROE最低为2020年的3.01%，最高为2021年的5.72%。

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