光刻机概念股龙头一览（2022/10/20）

南方财富网 2022/10/20 08:32:17

光刻机概念股龙头一览

大族激光，龙头股。在总资产收益率方面，公司从2018年到2021年，分别为10.44%、3.34%、5.06%、8.57%。公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。

华特气体，龙头股。公司在总资产收益率方面，从2018年到2021年，分别为9.29%、6.68%、7.33%、7.96%。华特气体用于半导体光刻的氪氖混合气、氟氖混合气等稀混光刻气已得到全球最大光刻机制造商ASML认证。

芯源微，龙头股。在总资产收益率方面，从2018年到2021年，分别为8.53%、4.47%、4.53%、4.86%。作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。

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