2021年集成电路设备上市公司龙头股票有哪些？

周三收盘简讯，集成电路设备概念报涨，万业企业（1.679%）领涨，长川科技、中微公司、至纯科技等跟涨。相关集成电路设备上市公司有哪些?

万业企业：2018年9月5日公告，公司控股子公司上海凯世通半导体中标黄河公司西安太阳能400MW电池N-PERT工艺升级改造项目，中标内容为离子注入设备(IPV-3000)4台。2018年8月9日消息，万业企业拟以发行股份的方式，作价4.753亿元收购凯世通中国香港、苏州卓燝持有的凯世通49%股权。同时，公司拟以现金4.947亿元收购凯世通另51%股权。交易完成后，上市公司将持有凯世通100%股权。凯世通已成为国内离子注入机领域的领军企业，拥有80多项专利。目前，公司集成电路离子注入机产品已完成研发并形成产品，产品线类型有12英寸、4至6英寸，并获得了海外厂商的认可。2018年1月份披露，现经工商核准上海集成电路装备材料产业投资基金（筹）正式命名为“上海半导体装备材料产业投资基金”。该基金总规模为100亿元，首期规模50.5亿元。2018年1月19日，基金参与各方正式签署《上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）合伙协议》。设立合伙企业的目的是聚焦集成电路设备和材料领域，兼顾半导体产业链上下游企业及其他相关领域，立足上海，面向全国，放眼全球开展投资，推动投资项目落户上海，帮助被投资项目快速成长，获得资本增值，以良好的业绩为合伙人创造价值。2018年8月4日，公司公告，现金收购凯世通51%股权已完成交割；凯世通的产品主要应用于太阳能、集成电路和AMOLED显示三大领域，在半导体国产化方面有了不俗的表现，拥有自主可控的核心技术。未来，全球规划新建和拓建的集成电路生产线中，近一半布局在中国，对设备采购量激增，将为凯世通产品放量增长提供有利机遇。

长川科技：公司自成立以来一直专注于集成电路专用设备的自主研发和创新，经多年持续不断的技术创新，公司掌握了集成电路测试设备的相关核心技术，目前拥有57项专利权、29项软件著作权，是国内为数不多的可以自主研发、生产集成电路测试设备的企业。

中微公司：在中微员工的创新激情、多年的齐心奋斗和合作共赢的精神指引下，中微已经成为一家快速成长的微观加工设备公司，在技术创新、产品优化和市场准入方面取得了重大突破，赢得了众多客户和供应厂商的信任和支持，成为国际半导体微观加工设备产业极具竞争力的一颗新星。

至纯科技：2019年5月7日公告，公司拟发行不超过3.56亿元可转债，扣除发行费用后的净额用于投资半导体湿法设备制造项目以及晶圆再生基地项目。

北方华创：太阳能电池制造设备与大规模集成电路制造设备的核心工艺技术相近，拥有良好的市场需求与发展前景，公司目前已经成为国内最大的晶硅太阳能电池设备制造商之一。

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